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基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究
硅隔离
压力传递机构
耐高温
绝缘体上硅高温压力传感器研究
压力传感器
绝缘体上硅
高温
有限元分析
耐高温微型压力传感器设计
压力传感器
SOI芯片
梁膜结构
耐高温
浅析高温压力传感器的发展
高温压力传感器
半导体材料
多晶硅
光纤技术
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 单晶硅SOI高温压力传感器的研究
来源期刊 传感器世界 学科 工学
关键词 单晶硅 高温 压力传感器
年,卷(期) 2003,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 36-37
页数 2页 分类号 TP212.12
字数 语种 中文
DOI
五维指标
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2003(0)
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研究主题发展历程
节点文献
单晶硅
高温
压力传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感器世界
月刊
1006-883X
11-3736/TP
大16开
北京市北四环中路35号教2楼501(北京9716信箱404分箱)
82-694
1995
chi
出版文献量(篇)
2678
总下载数(次)
15
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