磁控溅射SmFe2 GMF的工艺及膜性能研究

• 作者: 周军 周白杨 彭俊华 王平 邓光华
• 来源期刊: 福州大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 SmFe2 功能薄膜 磁致伸缩
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 690-694
• 页数: 5页
• 分类号: TM271
• 字数: 4441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2003.06.013

摘要

采用正交试验方法研究了磁控溅射的工艺因素:溅射功率、溅射气压、基片到靶材的距离等对SmFe2超磁致伸缩薄膜制备的影响;用SEM能谱仪研究了获得的SmFe2薄膜的成分;用小角度X射线掠射法研究了获得的SmFe2薄膜的结构;得到了磁控溅射制备SmFe2薄膜的优选工艺条件;并测量了该工艺条件下SmFe2 GMF的磁致伸缩系数λ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周白杨	福州大学材料科学与工程学院	36	89	5.0	7.0
2	王平	福州大学材料科学与工程学院	12	54	4.0	7.0
3	邓光华	福州大学材料科学与工程学院	10	37	4.0	5.0
4	周军	福州大学材料科学与工程学院	6	48	3.0	6.0
5	彭俊华	福州大学材料科学与工程学院	2	36	2.0	2.0