陶瓷衬底上多晶硅薄膜的生长及区熔再结晶

• 作者: 刘维平 励旭东 程天 许颖 赵玉文 龚欣
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 多晶硅 薄膜 陶瓷 快速热化学气相沉积 区熔再结晶
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.z1.011

摘要

该文研究了氮化硼、三氧化二铝、氧化锆陶瓷以及石英和微晶云母等衬底上多晶硅薄膜的一般生长规律和区熔再结晶.实验发现,在氮化硼、三氧化二铝和石英衬底上,可以直接生长晶粒尺寸数微米、致密的多晶硅薄膜.薄膜的优选晶向为<110>向.经区熔再结晶后,可以获得毫米级的晶粒,薄膜的优选晶向为<111>向.同时,薄膜的电学性能也得到改善,迁移率接近50cm2·/V·s.实验显示,衬底材料与薄膜间热膨胀系数的匹配是需首要解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许颖		39	349	12.0	17.0
2	励旭东	北京师范大学低能核物理研究所	7	28	3.0	5.0
3	赵玉文		13	262	5.0	13.0
4	程天		1	0	0.0	0.0
5	龚欣		1	0	0.0	0.0
6	刘维平		1	0	0.0	0.0