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俄歇电子能谱研究ZrN2/Si薄膜的界面扩散反应
俄歇电子能谱研究ZrN2/Si薄膜的界面扩散反应
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 俄歇电子能谱研究ZrN2/Si薄膜的界面扩散反应 | ||
| 来源期刊 | 广西师范大学学报(自然科学版) | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2003,（z4） | 所属期刊栏目 | 波谱及化学计量学 |
| 研究方向 | 页码范围 | 253-254 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | |
| 字数 | 1186字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1001-6600.2003.z4.139 | ||
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期刊影响力
广西师范大学学报(自然科学版)
主办单位：
广西师范大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-6600
CN：
45-1067/N
开本：
大16开
出版地：
桂林市育才路15号
邮发代号：
48-54
创刊时间：
1957
语种：
chi
出版文献量（篇）
3550
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