大行程高精度宏/微双重驱动机器人系统的研究

• 作者: 孙立宁 孙绍云 曲东升 王力 蔡鹤皋
• 来源期刊: 高技术通讯
• 关键词: 宏/微机器人系统 直线电机 PZT驱动 光栅
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 字数: 1964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2004.04.011

摘要

研究了具有宏/微双重驱动定位工作台的控制技术.该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动,利用光栅尺实现闭环位移反馈,可以实现100mm的工作行程,10nm的重复定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡鹤皋	哈尔滨工业大学机器人研究所	233	4809	37.0	57.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	王力	哈尔滨工业大学机器人研究所	51	584	13.0	22.0
4	曲东升	哈尔滨工业大学机器人研究所	47	1041	20.0	31.0
5	孙绍云	哈尔滨工业大学机器人研究所	7	409	7.0	7.0