磁控溅射WOx电致变色薄膜的结构

• 作者: 施萍萍 黄佳木
• 来源期刊: 重庆大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: WOx 非晶态薄膜 电致变色 直流反应磁控溅射 透光率 八面体
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TB34|O484
• 字数: 3384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2004.05.023

摘要

采用直流反应磁控溅射工艺,以纯钨靶为靶材在ITO玻璃上制备电致变色WOx薄膜,运用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜(STM)测试手段对薄膜的晶体结构和微观表面形貌进行了分析,探讨了WOx薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系.实验分析结果发现:磁控溅射得到的WOx薄膜主要是非晶态的,而其在着色状态和退色状态下亦呈非晶特性;电致变色反应使薄膜的颜色发生了可逆变化,必然地也使结构发生了可逆变化.Li+的进出,虽然没有使组成WOx的基本结构发生大的变化,但其微观表面形貌发生较大差异,因为原子团簇的堆积方式向较规则的低能态堆积方式转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佳木	重庆大学科学与工程材料学院	84	690	13.0	20.0
2	施萍萍	重庆大学科学与工程材料学院	3	32	3.0	3.0