MEMS器件在冲击下的可靠性

• 作者: 唐洁影 方绪文 黄庆安
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 冲击 可靠性 可靠性设计
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 1071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.07.007

摘要

MEMS器件在制造、运输和使用过程中不可避免地受到不同程度的冲击作用,分析和认识MEMS器件在冲击下的响应和失效模式,对提高器件的耐冲击和可靠性具有一定的指导意义.本文综述了MEMS器件的冲击测试和理论分析方法,对MEMS器件的可靠性设计具有一定参考价值.