掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析

• 作者: 吉雅图 李健
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米 真空气相沉积 物相结构 光学特性 掺铟 ZnO薄膜 CdS薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 191-194
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.008

摘要

采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜.研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响.实验给出,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小,CdS薄膜晶粒尺寸随掺杂含量的增加而变大,但薄膜的光透射性有所降低.在短波范围内,ZnO薄膜的光透率好于CdS薄膜;在500 nm～1000 nm范围内,CdS薄膜的光透率好.掺In后ZnO薄膜的光学带宽从3.2eV减小至2.85 eV;掺In后CdS薄膜光学带宽从2.42 eV减小至2.35eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学理工学院物理系	36	200	7.0	12.0
2	吉雅图	内蒙古大学理工学院物理系	3	15	3.0	3.0