用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构

• 作者: 刘伟 张景和
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直接写入设备 纳米分辨力 调焦伺服机构
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 310-312
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 2344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2004.03.010

摘要

在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37″.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张景和	哈尔滨工业大学精密工程研究所	6	49	3.0	6.0
2	刘伟		1	3	1.0	1.0