多热源SiC合成炉内CO气体参数实验

• 作者: 李成峰 王晓刚 郭继华
• 来源期刊: 长安大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 合成炉 CO气体 温度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 84-87
• 页数: 4页
• 分类号: TF061.26
• 字数: 3219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-8879.2004.03.020

摘要

采用自行发明的多热源合成SiC技术,研究了SiC合成炉逸出气体的成分、温度、压强、流量等性能参数在一定的供电制度、保温料厚度条件下的变化规律.研究结果表明,气体的主要成分为CO,其浓度高达92%;合成炉内空间位置越高,气体温度值越小;保温料厚度值为0.5 cm的条件下,气体温度最大值为249℃,温度梯度高达139℃/m;炉内不同部位气体的温度增长速率差异较大;压强与流量之间满足同步单调增减规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓刚	西安科技大学材料工程系	139	838	15.0	23.0
2	郭继华	西安科技大学材料工程系	5	35	4.0	5.0
3	李成峰	西安科技大学材料工程系	13	98	5.0	9.0