超精密磁悬浮工作台及其解耦控制

• 作者: 丁玉成 卢秉恒 李黎川
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精密运动控制 精密工作台 磁悬浮 解耦控制 磁悬浮轴承
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 84-88,94
• 页数: 6页
• 分类号: TH133.3
• 字数: 3914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2004.09.018

摘要

给出了一个磁悬浮工作台的结构设计、建模、控制器设计、实时控制试验和试验结果.与国际上已有的类似研究相比,给出的方案使磁悬浮部分独立于直线电动机,以避免两者间的耦合问题.此外,在电磁铁的结构和传感器的布置上,均给出了全新的设计,其特点是即便不使用永久磁铁,电磁铁的静态功耗也比较小,以及在驱动和位置检测上安排了冗余.后者的有利之处是可获得结构上的对称性和解耦后各控制通道在噪声性能上的一致性,且能够更大程度地降低位移信号中的噪声,代价是需要增加一路位移传感器和功率放大器,以及需要略多的实时计算以实现解耦和消除冗余.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械工程学院	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械工程学院	128	1941	23.0	39.0
3	李黎川	西安交通大学电气工程学院	20	305	11.0	17.0