磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响

• 作者: 傅明喜 周志华 陆琼晔 黄兴民
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 不锈钢薄膜 工艺参数 结合力
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 27-28,62
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2930字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2004.11.011

摘要

采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响.为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄兴民	江苏大学材料科学与工程学院	6	59	4.0	6.0
2	傅明喜	江苏大学材料科学与工程学院	59	355	11.0	15.0
3	周志华	江苏大学材料科学与工程学院	6	42	3.0	6.0
4	陆琼晔	江苏大学材料科学与工程学院	3	33	2.0	3.0