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MEMS技术的现状与应用
MEMS技术的现状与应用
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摘要：
微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度.近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视.介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势,MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程.
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文献信息
| 篇名 | MEMS技术的现状与应用 | ||
| 来源期刊 | 合肥学院学报：自然科学版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微机电系统 磁微执行器 MEMS 加工工艺 工作原理 | ||
| 年，卷（期） | 2005,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 53-55 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TP271.4 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
磁微执行器
MEMS
加工工艺
工作原理
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
合肥学院学报：自然科学版
主办单位：
合肥学院
出版周期：
季刊
ISSN：
1673-162X
CN：
34-1290/N
开本：
出版地：
安徽合肥市锦绣大道99号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1881
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