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摘要:
采用不同浓度的ZnCl2的非水二甲基亚砜溶液做电解液,用阴极电沉积法在Si衬底上制备出了一系列的ZnO薄膜.实验发现ZnCl2的浓度对ZnO薄膜的结构和光学性质有着重要的影响.薄膜的X射线衍射(XRD)表明ZnCl2浓度较低时,ZnO的特征峰被衬底Si的衍射峰掩盖而较弱,当ZnCl2浓度为0.05mol/L时ZnO的特征峰非常明显.随着ZnCl2浓度的减小,薄膜的光致发光的发射谱变好,当ZnCl2溶液浓度为0.01mol/L时光学性能最好,此时出现两个峰,分别对应紫峰和绿峰.同时研究了沉积时间和退火对薄膜的光学性能的影响.
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文献信息
篇名 Si衬底电沉积制备ZnO及其特性研究
来源期刊 安徽大学学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 阴极电沉积 ZnO X射线衍射谱 光致发光
年,卷(期) 2005,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 79-82
页数 4页 分类号 O484
字数 2346字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-2162.2005.03.019
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 许小亮 中国科学技术大学物理系 45 402 12.0 18.0
2 汪壮兵 合肥工业大学理学院 19 69 5.0 7.0
3 陈庆园 芜湖师范专科学校物理系 2 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
阴极电沉积
ZnO
X射线衍射谱
光致发光
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
安徽大学学报(自然科学版)
双月刊
1000-2162
34-1063/N
大16开
安徽省合肥市
26-39
1960
chi
出版文献量(篇)
2368
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6
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11731
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