光学薄膜中界面层和表面吸附层对相位延迟的影响

• 作者: 范正修 邵建达 黄建兵
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 界面层 表面吸附层 相位延迟 拟合
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.02.007

摘要

多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.根据空气与膜层、膜层之间的实际情况,建立了界面层和表面吸附层模型,并运用它分析相位延迟产生误差的原因.通过优化设计,入射角为54°,在1285～1345nm之间p,s波获得了270±1°的相移,同时也使反射率在99.5%以上.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性,在相应波段获得了262.4±1.8°的相移,同时也使反射率在99.6%以上.误差的主要来源是离子源工作特性会产生不均匀的过渡层和最外层会吸收一些水汽、灰尘等也产生表面过渡层.由误差分析得出了制备中过渡层的物理厚度和折射率的变化情况,最外层的厚度误差和折射率偏差是发生相移偏小的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄建兵	上海光学精密机械研究所光学薄膜技术中心	16	131	6.0	11.0
5	邵建达	上海光学精密机械研究所光学薄膜技术中心	3	53	3.0	3.0
6	范正修	上海光学精密机械研究所光学薄膜技术中心	2	47	2.0	2.0