热压印光刻技术复制波带片图形研究

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 波带片 纳米压印 热压印
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1588字
• 语种: 中文

摘要

针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为196μm,环数为196环.初步实验结果表明,这种方法具有很好的重复性和易用性,且可以进行低成本波带片的精确复制.