a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析

• 作者: 冯团辉 卢景霄 张宇翔 王海燕 靳瑞敏
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶硅薄膜 再结晶技术 多晶硅薄膜太阳电池 Raman光谱 晶粒尺寸 结晶度
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 462-465
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 5678字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2005.03.038

摘要

论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州大学教育部材料物理重点实验室	62	372	11.0	16.0
2	卢景霄	郑州大学教育部材料物理重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	张宇翔	郑州大学教育部材料物理重点实验室	45	274	10.0	14.0
4	靳瑞敏	郑州大学教育部材料物理重点实验室	13	55	4.0	7.0
5	冯团辉	郑州大学教育部材料物理重点实验室	10	86	6.0	9.0