深亚微米集成电路中的ESD保护问题

• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 深亚微米集成电路 ESD保护
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 电路设计与制造
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TN301
• 字数: 4724字
• 语种: 中文

摘要

本文对深亚微米工艺所引起的集成电路抗静电能力下降的原因和传统保护电路设计的缺陷进行了深入的阐述,从制造工艺、保护电路元件和保护电路结构三方面对深亚微米集成电路中的ESD保护改进技术进行了详细论述.