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摘要:
利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.
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文献信息
篇名 硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 脉冲激光沉积 LiNbO3薄膜 光波导 硅衬底
年,卷(期) 2005,(4) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 245-248
页数 4页 分类号 O484.4
字数 1880字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.04.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 叶志镇 浙江大学硅材料国家重点实验室 155 1638 21.0 35.0
2 赵炳辉 浙江大学硅材料国家重点实验室 74 719 14.0 24.0
3 王新昌 浙江大学硅材料国家重点实验室 7 31 3.0 5.0
4 曹亮亮 浙江大学硅材料国家重点实验室 7 21 3.0 4.0
5 李士玲 山东大学物理与微电子学院 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
脉冲激光沉积
LiNbO3薄膜
光波导
硅衬底
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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