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硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
作者:
叶志镇
曹亮亮
李士玲
王新昌
赵炳辉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
脉冲激光沉积
LiNbO3薄膜
光波导
硅衬底
摘要:
利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.
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内容分析
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
物理学
关键词
脉冲激光沉积
LiNbO3薄膜
光波导
硅衬底
年,卷(期)
2005,(4)
所属期刊栏目
学术论文
研究方向
页码范围
245-248
页数
4页
分类号
O484.4
字数
1880字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-7126.2005.04.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
叶志镇
浙江大学硅材料国家重点实验室
155
1638
21.0
35.0
2
赵炳辉
浙江大学硅材料国家重点实验室
74
719
14.0
24.0
3
王新昌
浙江大学硅材料国家重点实验室
7
31
3.0
5.0
4
曹亮亮
浙江大学硅材料国家重点实验室
7
21
3.0
4.0
5
李士玲
山东大学物理与微电子学院
1
1
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(1)
共引文献
(3)
参考文献
(6)
节点文献
引证文献
(1)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1996(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
1998(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
2003(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2005(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
脉冲激光沉积
LiNbO3薄膜
光波导
硅衬底
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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