硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究

• 作者: 叶志镇 曹亮亮 李士玲 王新昌 赵炳辉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 LiNbO3薄膜 光波导 硅衬底
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.04.002

摘要

利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
2	赵炳辉	浙江大学硅材料国家重点实验室	74	719	14.0	24.0
3	王新昌	浙江大学硅材料国家重点实验室	7	31	3.0	5.0
4	曹亮亮	浙江大学硅材料国家重点实验室	7	21	3.0	4.0
5	李士玲	山东大学物理与微电子学院	1	1	1.0	1.0