铁电薄膜C-V特性测量研究

• 作者: 冯术成 尹开锯 廖家轩 杨传仁 符春林 陈宏伟
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电薄膜 C-V特性测量 四端对接 实验
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 129-131
• 页数: 3页
• 分类号: O482.531
• 字数: 1397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4550.2005.z1.052

摘要

采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台.利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	廖家轩	电子科技大学微电子与固体电子学院	22	106	7.0	8.0
4	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
5	冯术成	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	1	1.0	1.0
6	尹开锯	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	0	0.0	0.0