水平式隧穿磁强计的建模与仿真

• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿效应 磁强计 微机电系统 有限元
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 566-568
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1979字
• 语种: 中文

摘要

隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的新型磁强计,该文给出了两种隧穿磁强计方案,一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互垂直的垂直式方案,另一种是洛伦次力方向和敏感元件平面相互重合的水平式方案,分析了垂直式方案的加工难点.建立了水平式隧穿磁强计的敏感元件--质量弹簧系统的模型,推导了系统刚度和1阶固有频率的计算式,应力仿真图、静力变形仿真图和1阶振型仿真图均符合设计要求,结果证明模型是正确的.