MEMS器件IP库及系统应用

• 作者: 殷刚毅
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 系统分析 IP库 SPICE
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 886-889
• 页数: 4页
• 分类号: TN401
• 字数: 2118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.04.052

摘要

针对目前MEMS设计方法中系统分析不完善的现状,提出了将IP库单元应用于系统分析的方法.本文描述了已建立的MEMS微传感器件IP库单元的原型及库单元的结构和关键参数.以梳状微机械谐振器为例,使用SPICE语言调用已建立的IP库单元进行模拟分析,实现了MEMS器件和电路的系统模拟.