Ti-Si-N纳米复合薄膜的结构与性能

• 作者: 徐可为 牛新平 马大衍 马胜利
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Si-N 纳米复合薄膜 晶粒尺寸 显微硬度
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 1751-1753
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 2596字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.11.017

摘要

用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积技术,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积了Ti-Si-N复合薄膜,研究了Ti-Si-N复合薄膜的微观组织和力学性能.结果显示,薄膜相结构为纳米晶TiN和纳米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4;在Si含量为5.0 at%～28.0 at%范围内,薄膜的晶粒尺寸逐渐变大;Ti-Si-N薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最高硬度可达40 GPa;高温退火后,Ti-Si-N纳米复合薄膜的显微硬度与晶粒尺寸在800℃高温下仍然保持稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	马胜利	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	51	461	12.0	18.0
3	马大衍	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	26	168	8.0	12.0
4	牛新平	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	4	24	3.0	4.0