电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的蒙特卡罗模拟

• 作者: 尚勇 王志军 董丽芳
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特卡罗模拟 金刚石薄膜 发射光谱
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 880-885
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.065

摘要

采用蒙特卡罗方法,对源料气体为CH4/H2混合气的电子助进化学气相沉积(EACVD)中的氢原子(H)、碳原子(C)以及CH基团的发射过程进行了模拟.研究了CH4浓度、反应室气压和衬底偏压等工艺参数对发射光谱及成膜的影响.研究发现,CH基团可能是有利于金刚石薄膜生长的活性基团,而碳原子不是;偏压的升高可提高电子平均温度及衬底表面附近氢原子的相对浓度;通过氢原子谱线可测定电子平均温度并找到最佳成膜实验条件.该结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均温度,有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志军	河北大学物理科学与技术学院	78	570	15.0	19.0
2	董丽芳	河北大学物理科学与技术学院	183	836	17.0	22.0
3	尚勇	河北大学物理科学与技术学院	16	40	4.0	6.0