基于微悬臂梁结构的生化传感器

• 作者: 叶甜春 张青川 李凯 欧毅 陈大鹏 黄钦文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 传感器 表面应力
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道(MEMS)
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.+4
• 字数: 1730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.006

摘要

微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构.当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力.采用光学方法探测微悬臂梁的偏转;比较了不同的悬臂梁结构在流体中的稳定性以及不同结构的反光部分的反光效果,并将悬臂梁用于研究PNIPAM分子构象随温度的转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0
2	欧毅	中国科学院微电子研究所	17	77	5.0	7.0
3	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
4	黄钦文	中国科学院微电子研究所	5	22	3.0	4.0
5	张青川		7	79	6.0	7.0
6	李凯		2	9	1.0	2.0