前驱体溶液浓度对LaNiO3薄膜结构及导电性能的影响

• 作者: 丁玲红 张伟风 张婷 魏凌
• 来源期刊: 河南大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 前驱体溶液 浓度 LaNiO3 电阻率
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 现代物理与材料科学
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-4978.2006.02.006

摘要

采用溶胶-凝胶(sol-gel)法,使用浓度分别为0.1M、0.2M和0.3M的前驱体溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的(110)择优取向.扫描电子显微镜截面分析显示,用0.2M前驱体溶液制备的LNO薄膜样品厚度均匀,与Si衬底间没有明显扩散.采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当前驱体溶液浓度为0.2M时,样品电阻率最小,仅为2.08×10-3 Ω·cm,具有良好的导电性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟风	河南大学物理与信息光电子学院	66	248	8.0	10.0
2	张婷	河南大学物理与信息光电子学院	29	59	4.0	6.0
3	丁玲红	河南大学物理与信息光电子学院	21	95	6.0	8.0
4	魏凌	河南大学物理与信息光电子学院	9	83	4.0	9.0