制备工艺条件对薄膜微结构的影响

• 作者: 沈健 田光磊 申雁鸣 范正修 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 X射线衍射 晶相结构 迁移率 扩散激活能
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 673-678
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.05.021

摘要

用不同的方法在石英玻璃,YAG晶体,K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2,HfO2和TiO2薄膜.HfO2薄膜利用电子束蒸发(EB)、离子束辅助(IAD)和双束离子束溅射(DIBS)三种方法沉积.对其中的一些样品进行了不同温度下的退火处理,对所有的样品进行X射线衍射(XRD)测试,以获得不同条件下得到的薄膜的晶相及晶粒尺寸等的微结构参数.实验结果表明,薄膜的晶相结构以及晶粒尺寸强烈地依赖于沉积过程的各种技术参数,如衬底的种类、沉积温度、沉积方法和退火温度.利用薄膜表面扩散以及薄膜成核长大热力学原理解释了不同技术条件下的晶相结构和晶粒尺寸不同的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	田光磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	87	5.0	6.0
7	申雁鸣	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	95	5.0	6.0
11	沈健	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	113	8.0	10.0