飞秒脉冲激光沉积Si基a轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜

• 作者: 周幼华 戴能利 杨光 郑启光 陆培祥
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 铁电薄膜 钛酸铋 脉冲激光沉积法 飞秒
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 832-836
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.06.025

摘要

在钛酸铋(Bi4Ti3O12)薄膜的制备过程中容易获得晶粒c轴垂直于基片表面的薄膜,而压电和铁电存储器主要利用a轴的自发极化分量,因而制备a轴择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜具有特别的意义.采用飞秒脉冲激光作用在钛酸铋陶瓷靶上,采用Si(111)作为衬底,制备了a轴择优取向的钛酸铋薄膜.采用X射线衍射(XRD)的薄膜附件和场发射扫描电镜(FSEM)研究了薄膜的结构和形貌;采用傅里叶红外光谱仪测量了室温(20℃)下在石英基片上沉积的样品的光学特性;室温下沉积的钛酸铋薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均大小为20 nm,其光学禁带宽度约为1.0 eV.在500℃沉积的钛酸铋薄膜呈a轴择优取向,晶粒大小在30～300 nm之间,薄膜的剩余极化强度Pr为15μC/cm2,矫顽力Er为48 kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑启光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	305	10.0	15.0
2	陆培祥	华中科技大学激光技术国家重点实验室	44	232	9.0	12.0
3	杨光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	50	460	11.0	20.0
4	周幼华	华中科技大学激光技术国家重点实验室	12	68	6.0	7.0
6	戴能利	华中科技大学激光技术国家重点实验室	19	117	8.0	10.0