磁过滤真空弧源沉积C/C多层复合膜的结构和力学性能研究

• 作者: 冷永祥 孙鸿 张文英 沟引宁 黄楠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁过滤直流阴极真空弧源 C/C多层复合膜 X射线光电子能谱 Raman光谱 磨损性能
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 66-69,73
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.017

摘要

采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在不锈钢基体表面制备了C/C多层复合膜,通过X射线光电子能谱、Raman光谱对薄膜的结构进行表征;C/C多层膜大气下的摩擦损性能在销盘式摩擦磨损试验机上进行;用洛氏压痕法研究了薄膜与基体的结合强度.结果表明:C/C多层复合膜为类金刚石结构.它与SiC球大气下的摩擦系数为0.10左右,其摩损性能由于多层膜的引入而显著提高.Ti过渡层的引入显著提高了膜基结合力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沟引宁		2	45	2.0	2.0
2	黄楠		5	54	4.0	5.0
3	孙鸿		3	49	3.0	3.0
4	张文英		2	45	2.0	2.0