MgO薄膜的制备和二次电子发射性能的表征

• 作者: 姚熹 殷明志
• 来源期刊: 西北工业大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 MgO薄膜 二次电子发射
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 435-439
• 页数: 5页
• 分类号: O612.2|TM215
• 字数: 2620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2758.2006.04.008

摘要

以无机盐为原料,用溶胶-凝胶技术在Si(111)衬底上制备(100)取向MgO薄膜.镁硝酸盐的冰醋酸溶液加热回流转化形成的Mg(CH3COO)2,与乙酰丙酮(AcAc)分子形成环状螯合物Mg(CH3COO)2-x(AcAc)x可抑制Mg2+离子的过度水解,经水解形成的Mg(OH)2-x(AcAc)x羟基聚合形成镁的羟基簇状结构溶胶.丙三醇(GL)防止羟基镁过度聚合,聚乙烯醇(PVA)分子中强极性基团-OH和金属离子螯合或化学吸附,使镁的羟基簇状结构溶胶具有线状或网状结构,易于成膜.有机添加剂也会使MgO薄膜在热处理过程的热应力因薄膜塑性增强而降低.文中对形成的MgO薄膜的微结构、形貌等进行了分析,通过MgO薄膜二次电子发射系数γ值的测定,反馈MgO薄膜的性能,为提高PDP(plasma display panels)性能提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷明志	西北工业大学应用化学系	18	34	4.0	5.0
2	姚熹	西安交通大学电子材料及器件研究所	172	1611	18.0	30.0