喷雾热解法制备SnO2：Sb＋F透明导电薄膜

• 作者: 张卫华 赵高扬 郅晓 魏征
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 SnO2:Sb+F 喷雾热解 光电性能 大面积
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: O47

摘要

采用溶胶-凝胶与喷雾热解相结合的方法，在大面积浮法玻璃基板上制备出了SnO2：Sb＋F透明导电薄膜，研究了F／Sn比例、基板温度与SnO2薄膜的结构、形貌、光电性能的关系。实验结果表明：在溶胶的Sn：Sb：F比例为1：0．04：0.5和基板温度550℃的条件下，制备的SnO2：Sb＋F薄膜具有最佳的导电性能及较高的透光率，薄膜方阻达25Ω／□，电阻率为7．5×10^-4Ω·cm，平均可见光透过率为77．4％，辐射率e=0．208，表现出了较好的低辐射性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
3	郅晓	西安理工大学材料科学与工程学院	5	38	3.0	5.0
4	魏征	西安理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0