激光量热法测量光学薄膜微弱吸收

• 作者: Detlev Ristau Holger Blaschke 李斌成 熊胜明
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量技术 微弱吸收 激光量热法 光学薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 823-826
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.06.023

摘要

按照国际标准ISO 11551研制了用于测量光学薄膜微弱吸收的激光量热装置.典型情况下吸收测量灵敏度优于10-6,测量误差估计为10%左右.在1064 nm波长测量1 mm厚石英玻璃基板的绝对吸收为3.4×10-6,测量灵敏度达到1.5×10.测量了不同膜层设计、不同使用角度、不同镀膜技术镀制的全介质高反膜样品;使用离子束溅射(IBS)技术镀制的Ta2O5/SiO2多层0°反射镜的吸收仅为1.08×10-5,而使用离子束辅助沉积(IAD)技术镀制的HfO2/SiO2多层45°反射镜的吸收测量值为6.83×10-5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌成	中国科学院光电技术研究所	45	325	10.0	15.0
2	熊胜明	中国科学院光电技术研究所	44	353	11.0	16.0