一种新型电容微加速度计的设计与仿真

• 作者: 朱获 郑晓虎
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型电子机械系统 电容检测 加速度计 仿真模拟
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 281-283
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 字数: 2567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.03.008

摘要

提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计.通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小.研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高.同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036 Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓虎	南京航空航天大学机电学院	11	102	6.0	10.0
5	朱获	南京航空航天大学机电学院	10	136	6.0	10.0