MEMS光开关的控制

• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS光开关 控制电路 微机电系统 光学应用 微型执行器 MICRO MOEMS 光电子系统 微机械元件
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: TN929.1

摘要

ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-Mechanical System的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。