沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响

• 作者: 姚宁 张兰 张兵临 高金海
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TB383|O484
• 字数: 2260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.06.016

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积法在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上,利用改变衬底温度方法沉积不同结构的碳膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱对碳膜进行了分析测试,并研究了不同衬底温度下沉积的碳膜的场致电子发射特性.对于在衬底温度800℃时制备的碳膜,在电场3.3 V/μm时,最大场发射电流密度达1 mA/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学物理工程学院	95	608	12.0	18.0
3	张兰	郑州大学工程力学学院	68	325	8.0	14.0
4	高金海	郑州大学物理工程学院	8	23	3.0	4.0