高速钢上磁控溅射氮化碳薄膜的摩擦学性能研究

• 作者: 刘军 毕凯 陈春
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化碳薄膜 磁控溅射 摩擦学性能 磨损机理 高速钢
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2007.07.006

摘要

采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳(CNx/TiN)复合薄膜,并采用球-盘式摩擦试验法对其摩擦学性能进行了研究.通过分析薄膜的摩擦系数变化曲线,并辅之以薄膜摩擦表面形貌的显微观察分析以及EDS微区成分分析,对薄膜的摩擦学性能进行了表征.结果表明,CNx/TiN复合薄膜与对偶球(Si3N4)之间的摩擦系数约为0.3.具有较好的减摩性能,但复合薄膜的耐磨性能受制备工艺的影响较大.沉积合适的TiN/Ti过渡层可以显著提高薄膜的耐磨性能.薄膜的磨损机理主要为磨粒磨损与黏着磨损以及疲劳磨损相互结合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军	江苏大学材料科学与工程学院	150	980	14.0	22.0
2	毕凯	镇江船艇学院物理教研室	9	51	4.0	6.0
3	陈春	江苏大学材料科学与工程学院	8	41	4.0	6.0