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压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量
压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量
作者:
尼启良
李敏
阚珊珊
陈波
高亮
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
极紫外太阳望远镜
ZYGO干涉仪
压电陶瓷转动平台
转角精度
摘要:
提出了一种亚角秒精度的转角测量方法.利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(Peak Valley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度.通过测量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1 μrad(0.2″),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%.本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8″的角分辨率的要求.
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原理样机
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气浮平台
转动惯量
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实验
测量精度
测量方法
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压电陶瓷驱动微位移机构迟滞非线性改善方法研究
压电陶瓷驱动器
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文献信息
篇名
压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
极紫外太阳望远镜
ZYGO干涉仪
压电陶瓷转动平台
转角精度
年,卷(期)
2007,(2)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
206-211
页数
6页
分类号
TH751|TB92
字数
2368字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2007.02.010
五维指标
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被引次数趋势
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研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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