非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验

• 作者: 卢倩 孙梦馨 王寅 陶杰 黄卫清
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大行程旋转平台 非共振压电电机 精密定位 光波导封装
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: ? 微纳技术与精密机械 ?
• 页码范围: 2712-2720
• 页数: 9页
• 分类号: TH703|TP273
• 字数: 4440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162411.2712

摘要

针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小，结构与控制系统复杂的问题，提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位平台进行动力学建模，确定了系统运动方程。然后，分析其作动机理，研究影响旋转平台转速的不同因素。最后，实验研究该精密旋转定位平台的速度、步距、分辨率与负载特性，确定平台连续作动与步进作动的驱动方式。实验结果表明，在直流偏置为60 V ，峰峰电压为120 V ，频率为180 Hz 的正弦波电压激励下，该精密旋转定位平台最大转速可达47963．2μrad／s ，分辨率和最大负载分别为3μrad 和60 g 。与现有的大行程精密定位旋转平台相比，设计的平台具有行程大，精度高，结构简单，稳定可控，且装配调试方便，易于批量化生产等优势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫清	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	124	1217	19.0	27.0
2	陶杰	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	182	1989	23.0	33.0
3	王寅	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	32	240	9.0	13.0
5	孙梦馨	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	15	117	6.0	10.0