用线性真空规测量小孔分子流流导的方法研究

• 作者: 成永军 李得天 邱家稳 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 小孔流导 测量方法 线形真空规 不确定度
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 真空测量与校准
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TB77
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.013

摘要

提出了用线性真空规测量小孔分子流流导的方法,该方法利用了线性真空规两次测量压力的比值,避免了真空规测量绝对压力引入的不确定度,从而有效减小了小孔流导的测量不确定度.文章介绍了小孔流导的测量原理、测量装置和测量结果,小孔流导测量的合成标准不确定度为0.29%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	郭美如		28	208	8.0	12.0
3	邱家稳		44	477	14.0	20.0
4	成永军		39	271	9.0	13.0