PET上沉积Al掺杂ZnO薄膜的光电特性研究

• 作者: 周雄图 杨贵源 石旺舟 马学鸣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Al掺杂ZnO薄膜 透明导电薄膜 脉冲激光沉积 荧光特性
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1274-1278
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.06.015

摘要

采用脉冲激光沉积技术(PLD),室温下在柔性衬底PET上制备了高度c轴择优取向的Al掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,不同Al掺杂浓度的样品均呈现单一的ZnO相.荧光光谱和透射光谱分析显示,低温低氧压下制备的Al掺杂ZnO薄膜在紫光区域有很强的荧光发射,在可见光区域具有较高的透射率;并且可以通过Al掺杂浓度调节薄膜紫色发光强度和薄膜带隙.薄膜的电阻率随着Al掺杂浓度的增加先降低后增加,在掺杂浓度为3%原子分数时达到最小值.