非晶金刚石薄膜对温度的敏感性研究

• 作者: 孟松鹤 朱嘉琦 陈旺寿 韩杰才
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶金刚石 过滤阴极真空电弧 温度敏感性 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 565-569
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.03.038

摘要

采用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,在-190～600 ℃范围研究非晶金刚石薄膜的温度敏感性.利用液氮泵在Linkam试验台上冷却样品并实时采样,通过炉中退火实现样品加热.分别测试可见光拉曼光谱和纳米压痕,研究薄膜的微结构和机械性能的变化.实验表明:过滤阴极真空电弧制备的非晶金刚石薄膜具有较好的热稳定性.在空气中退火到400℃,其硬度和弹性模量基本保持不变,其结构可以一直稳定到500℃,但是到600℃,薄膜因为氧化作用而快速消耗.非晶金刚石薄膜的可见光拉曼光谱显示随着温度的升高,谱峰峰位向高频偏移.在低温冷却过程中,薄膜对温度变化不敏感,其结构保持不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩杰才	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	298	4663	35.0	52.0
2	孟松鹤	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	137	1793	22.0	36.0
3	朱嘉琦	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	48	177	7.0	10.0
4	陈旺寿	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	2	5	1.0	2.0