化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工

• 作者: 公发全 刘万发 李刚 肖鹏 董闯 黄润兰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 SiC材料 光学加工 超光滑表面 纳米加工 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 327-329
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 1945字
• 语种: 中文

摘要

利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.