影响高压阳极铝箔隧道孔极限长度的因素

• 作者: 何业东 洪涛 王玫
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 极限长度 芯层厚度 HCl-H2SO4腐蚀体系 扩散控制
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TM535
• 字数: 3373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.07.006

摘要

研究了高压阳极铝箔在HCl-H2SO4腐蚀体系中,H2SO4 /HCl浓度比、Al3+浓度、温度和电流密度对隧道孔长度和铝箔芯层厚度的影响规律.结果表明:提高H2SO4 /HCl浓度比、Al3+浓度温度和电流密度,均可缩短隧道孔长度和增加芯层厚度.提出隧道孔的生长受Al3+在隧道孔中的扩散和铝箔表面扩散层中的扩散共同控制,可以对上述因素的影响规律做出更合理的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何业东	北京科技大学北京市腐蚀磨蚀与表面技术重点实验室	40	202	9.0	10.0
2	洪涛		9	46	4.0	6.0
3	王玫	北京科技大学北京市腐蚀磨蚀与表面技术重点实验室	1	11	1.0	1.0