电子铝箔电解腐蚀隧道孔极限长度的控制机理

• 作者: 何业东 魏玲玲
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 电子铝箔 电解腐蚀 隧道孔 极限长度
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TM535
• 字数: 2900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.11.011

摘要

通过测试电子铝箔在HCl-AlCl3中阳极极化曲线和电解腐蚀隧道孔的极限长度,发现了隧道孔的极限长度llim与铝箔的点蚀电位与自腐蚀电位的差值ΔE存在相关性,导出了隧道孔生长的动力学公式以及ΔE与llim的线性关系式,表明通过测试ΔE可以判断llim的变化趋势,为研究新型发孔液提供了一种简便的途径.