薄膜光学 光学薄膜参数测试

• 来源期刊: 中国光学与应用光学文摘
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化物 表面粗糙度 扩散屏障层 参数测试 射线反射 微晶硅薄膜 基底 薄膜光学 多层膜 光学薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 66
• 页数: 1页
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文

摘要

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