基于原子运动模型的类金刚石薄膜生长机理研究

• 作者: 王慧 胡元中 马天宝
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: DLC膜 分子动力学模拟
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 480-486
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 6174字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.01.078

摘要

利用分子动力学模拟方法,从原子尺度上研究了类金刚石(DLC)薄膜生长过程.按照运动特点把入射原子在表面的行为分为表面冷冻、迁移、注入和反弹等四种,并由此提出原子运动模型.入射原子的表面行为对DLC薄膜的微观结构以及生长方式有重要影响.其中原子水平迁移是薄膜热弛豫的主要途径,入射原子的注入和迁移行为相互竞争,决定了薄膜生长的模式和最终结构.利用统计分析手段给出了入射能量对原子表面行为进而对薄膜结构的影响,加深了对DLC薄膜生长机理的认识.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王慧	清华大学摩擦学国家重点实验室	103	1846	25.0	39.0
2	胡元中	清华大学摩擦学国家重点实验室	51	802	16.0	26.0
3	马天宝	清华大学摩擦学国家重点实验室	5	30	2.0	5.0