基于AFM的纳米刻划系统

• 作者: 于海涛 孙涛 胡振江 董申 费维栋 闫永达
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 纳米刻划 摩擦力 单片机
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 356-361
• 页数: 6页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.05.008

摘要

为了解决商业原子力显微镜(AFM)系统刻划软件本身在刻划实验时不能够实时提供水平摩擦力信号以及不能够在刻划过程中改变载荷的缺点,开发了一套基于单片机的辅助控制模块.该模块可以实现高精度的数据输入和输出,并通过AFM系统提供的信号接口模块及高精度工作台可以实时地测量水平摩擦力信号和在刻划过程中改变垂直载荷.采用两种不同样品表面--机械加工产生的二氧化硅表面和重氮盐自组装膜表面进行刻划实验.变载荷和恒定载荷的刻划实验结果表明:该系统可以实现水平摩擦力的实时检测及垂直载荷的变化施加.实验数据能够反映不同表面间的摩擦特性的差别,并且与前人分析结果一致.多列刻划实验表明采用该刻划系统,可以实现在较大范围内的阵列刻划.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	闫永达	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	34	237	9.0	13.0
7	费维栋	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	33	169	8.0	11.0
8	于海涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	23	166	6.0	12.0
9	胡振江	哈尔滨工业大学精密工程研究所	10	36	4.0	5.0