基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化

• 作者: 胡晓宇 陈海昕
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 反应器 数值仿真 衬底托盘 利用率
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 37-41,51
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 5312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.008

摘要

介绍了垂直喷淋式MOCVD反应器的最新计算机模拟仿真结果,并根据仿真结果对反应器的结构和参数进行了优化设计,应用在自行研制的用于GaN和四元化合物材料生长的设备中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海昕	清华大学工程力学系	39	279	9.0	14.0
2	胡晓宇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	56	4.0	7.0