脉冲供氧反应磁控溅射TiO2薄膜的结构和形貌研究

• 作者: 李雪 王秩伟 谭永胜 龚恒翔
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 物理学
• 关键词: TIO2 脉冲供氧 反应磁控溅射 应变 形貌
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4

摘要

利用脉冲供氧反应磁控溅射制备了TiO2薄膜。分别用XRD和SEM研究了晶体结构和表面形貌。结果表明，当氧浓度高或Toff小，样品为锐钛矿结构，晶粒大小20～30nm；而当氧浓度低或Toff大，样品为金红石结构，晶粒大小10～15nm。应变分析表明，锐钛矿结构只存在压应变，大小0．044～0．211；而金红石存在压应变（大小0．021-0．398）或张应变（大小0．182～0．438）。氧浓度低（或Toff大）样品具有更平整的表面和更均一的晶粒大小。