工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜的结构与性能影响

• 作者: 万志华 周晖 桑瑞鹏 温庆平 郑军
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 工件台转速 结构和性能
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-3,19
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.04.001

摘要

采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响.利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能.结果表明:提高工件台转速改善了掺杂金属Ti在薄膜中的分布均匀性,起到了细化晶粒尺寸,使薄膜组织结构致密性加强的效果.工件台转速变化不影响薄膜成分,薄膜的晶相从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随工件台转速的提高而增大;薄膜在真空环境中的减摩作用与工件台转速无关,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01～0.04,薄膜耐磨寿命随工件台转速提高而延长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周晖	兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	13	139	6.0	11.0
2	万志华	兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	10	46	5.0	6.0
3	郑军	兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	8	26	3.0	4.0
4	桑瑞鹏	兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	8	42	4.0	6.0
5	温庆平	兰州物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	11	124	5.0	11.0